2017年5月10日，珠三角出现了区域性的细颗粒物和臭氧“双高”型复合大气污染；5月29日，粤珠三角中西部、粤西、粤北出现了大范围的臭氧污染过程。利用常规气象资料和美国国家环境预报中心（NCEP）/美国国家大气研究中心（NCAR）提供的1°×1°再分析数据及环境监测数据，分析大气污染成因，并且首次在珠三角地区利用区域多尺度空气质量模型（CMAQ）模拟了5月10日各物理和化学过程对臭氧质量浓度的贡献。结果表明：（1）两次污染过程天气形势相似，850 hPa均有反气旋环流，地面呈均压场，风速较小，且污染当天天气晴好，温度较高；两次过程不同点在于“双高”污染前期NO2质量浓度和相对湿度均较大，且前期PM25质量浓度已经较高。（2）在城市站点，臭氧的主要来源是水平平流和垂直扩散；而在郊区站点，臭氧则主要来源于气相化学，水平平流和垂直扩散。